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半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器
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產(chǎn)品名稱

半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器

加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.1μm
材料成分 氧化鋁
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半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器

半導(dǎo)體設(shè)備末端執(zhí)行器是半導(dǎo)體制造設(shè)備中直接與晶圓(或其他半導(dǎo)體元件)接觸并執(zhí)行特定操作的關(guān)鍵部件,位于機(jī)械臂或運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的末端,其功能類似于人類的 “手”,負(fù)責(zé)完成晶圓的搬運(yùn)、定位、加工輔助等任務(wù)。它的設(shè)計(jì)精度、可靠性和潔凈度直接影響半導(dǎo)體器件的良率和生產(chǎn)效率。

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